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厌氧 (低氧) 烤箱半导体专用设备
  • 产品介绍

    - 技术参数 -

    产品型号 AK/BTTHWX
    内有效容积 单箱体 320L 380L 420L 双箱体 422L 536L 624L  
    温度范围 R T + 1 0 ℃ ~ +150℃ +175℃+250℃   (温度范围可选)
    温度波动度 ≤±0.5℃
    温度均匀度 ±2℃
    升温速率 ≤ 8 ℃/min
    含氧量 400PPM以下
    进气量 1 - 8 m ³/ H
    降温方式 水冷  (在高温结束后仪表给出指令打开通水电磁阀 ,水进入到风道里面的蒸发器,
    通过蒸发器里面的水把箱内的温度带出箱外 ,从180℃降到80℃约35分钟)
    门装置 自动锁门 ,  当试验开始时门会被电动锁锁住 ,达到工艺温度结束时门会自动解锁
    内部尺寸(cm) D 60 60 60   60 65 65  
    W 60 70 70   70 75 80  
    H 90 90 100   50 55 60  
    适用电源  

    注:设备外形、颜色均可按照客户需求定制。