仪器型号Machine model

VMS-2010F

VMS-3020F

VMS-4030F

VMS-5040F

工作台

Work

table

X/Y轴行程

X/Y axis travel

200*100

300*200

400*300

500*400

Z轴行程

Z axi travel

有效空间245mm,调焦行程200mm,工作距离90mm。

Effective space is 245mm,focusing stroke is 200mm,and working distance is 90mm.

金属台尺寸

Mental table dimension

350*220

450*350

550*450

700*600

玻璃台尺寸

Glass table dimension

230*130

330*230

430*330

530*430

传动型式

Drive type

X/Y光杆传动，Z轴光轴传动X/Y axis rod drive, Z axioptical axi drive

测量伺服驱动系统

Measuring servo drive system

光学尺分辨率：X/Y/Z轴0.0005mm(0.5um)

Optical scale resolution:X/Y/Zaxis 0.0005mm(0.5um)

测量精度：≤3um+L/200重复精度：≤3um

Measuring accuracy:≤3um+L/200 Repeatability accuracy:≤3um

多功能数据处理器可测点，线，圈，圆，角度等。

Versatile data processor can measures points,lines,loops,circles,angles,etc

影像系统

Image system

摄像机：日本SONY CCD视频放大倍数：20-240x    测量范围：9.0mm-1.35mm

Camera:Japan SONY CCD Video magnification:20-240x Measurement range 9.0mm-1.35mm

镜头：WM高清变倍镜头/连续放大倍率0.7-4.5x

Len:WM HD zoom lens/continuous magnification 0.7-4.5x

可配0.5x物镜，总放大倍率：10-120x

Can be equipped with 0.5xobjective lens, total magnification:10-120x 可配2x物镜，总放大倍率：40-480x

Can be equipped with 2x objective lens, total magnification:40-480x

光源系统Light system

表面光源与投射光源冷光源，寿命长，亮度可调

Surface light and projectionlight,cold light,long life,brightness adjustable

仪器外形尺寸

Machine external dimension

500*700*1100

600*750*1100

700*900*1150

850*1050*1200

仪器重量(kg)

Machine weight(kg)

150

180

200

240